一种低温多晶硅制备方法及微波加热设备.其中，该低温多晶硅的制备方法包括:提供一基板;在所述基板的一侧形成非晶硅层;进行微波加热，将所述非晶硅层晶化为多晶硅层;其中，在所述基板的一侧形成非晶硅层之前，和/或，在所述基板的一侧形成非晶硅层之后以及在进行微波加热将所述非晶硅层晶化为多晶硅层之前，还包括:形成晶化---膜.本发明实施例提供的低温多晶硅制备方法和微波加热设备，可以解决常规多晶硅退火工艺晶化均一性低，工艺难度大，产品良率低的问题，液体微波定型设备---，使多晶硅制备温度有效降低，晶粒也均匀，同时，可以降---备工艺难度和设备成本，获得成本---，品质更高且良率更高的多晶硅产品.
真空微波加热设备：包括用于对物体加热的干燥加热箱体，plc控制模块，用于对干燥加热箱体抽真空的真空泵和驱动真空泵工作的真空泵电机m1，用于向干燥加热箱体通入气体的进气通道，以及交流接触器，第二交流接触器和第四交流接触器，多晶硅微波定型设备---，所述干燥加热箱体内安装有多个磁控管，转盘以及驱动转盘转动的转盘电机m2，所述进气通道上安装有电磁阀;所述真空微波加热设备还包括为所述plc控制模块，济南微波定型设备---，真空泵电机m1，电磁阀，磁控管，转盘电机m2供电的三相交流电源.本实用新型不会产生常规加热中出现的内外加热不一致的状况，从而产生膨化的效果，利于粉碎，使干燥---提高.
微波加热固化设备：包括加压装置、微波装置以及真空辅助装置，加压装置包括加压腔体和加压源，微波装置包括微波腔体和微波源，真空辅助装置包括真空辅助部件和真空提供部件，液体微波定型设备---，真空辅助部件包括用于容纳复合材料的容纳腔体，所述真空提供部件包括真空动力源和真空管路。应用本实用新型的技术方案，效果是:整体结构精简；通过加压装置和微波装置的组合使用，可实现加压微波固化，制件的成型---、成型精度高。
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