一种低温多晶硅制备方法及微波加热设备.其中,该低温多晶硅的制备方法包括:提供一基板;在所述基板的一侧形成非晶硅层;进行微波加热,将所述非晶硅层晶化为多晶硅层;其中,在所述基板的一侧形成非晶硅层之前,和/或,在所述基板的一侧形成非晶硅层之后以及在进行微波加热将所述非晶硅层晶化为多晶硅层之前,还包括:形成晶化---膜.本发明实施例提供的低温多晶硅制备方法和微波加热设备,可以解决常规多晶硅退火工艺晶化均一性低,工艺难度大,砂轮微波定型设备,产品良率低的问题,使多晶硅制备温度有效降低,晶粒也均匀,同时,可以降---备工艺难度和设备成本,获得成本---,品质更高且良率更高的多晶硅产品.
微波加热设备:一种用以微波加热设备的天线及微波加热设备,上述天线将微波源造成的微波发送述微波加热设备的加热室,该天线包含:接木地板;及其天线杆,包含:天线杆,与上述接木地板竖直,且上述天线杆的端口号为微波馈通道;第二天线杆,与上述天线杆竖直联接。这般在沒有光波导入的的状况下,根据上述天线将微波源造成的微波发送至微波加热设备的加热室,降低了微波传送阶段,提升了微波传送,广州微波定型设备,进而减少了加热時间。
影响微波烧结效果的因素主要有:所使用的微波频率,烧结时间与烧结升温速度,盒饭微波定型设备,材料本身的介电损耗特性等。使用高的微波频率对烧结过程有两方面的影响:可以---微波烧结的均匀性,加快烧结过程。提高频率对---微波加热的均匀性有一定的作用。另一方面,使用的微波频率越高,活性炭微波定型设备,在单位时间内样品吸收的能量越多,烧结致密化速度越快。烧结时间和加热速度对烧结体的组织性能有很大的影响。高温快烧和低温慢烧均会造成组织晶粒尺寸不均匀,孔隙尺寸过大等现象。过快的加热速度会在材料内部形成很大的温度梯度,产生的热应力过---导致材料开裂。
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