一种低温多晶硅制备方法及微波加热设备.其中，该低温多晶硅的制备方法包括:提供一基板;在所述基板的一侧形成非晶硅层;进行微波加热，将所述非晶硅层晶化为多晶硅层;其中，在所述基板的一侧形成非晶硅层之前，和/或，齐齐哈尔液体微波烧结设备，在所述基板的一侧形成非晶硅层之后以及在进行微波加热将所述非晶硅层晶化为多晶硅层之前，还包括:形成晶化---膜.本发明实施例提供的低温多晶硅制备方法和微波加热设备，液体微波烧结设备原理，可以解决常规多晶硅退火工艺晶化均一性低，工艺难度大，产品良率低的问题，使多晶硅制备温度有效降低，液体微波烧结设备效果如何，晶粒也均匀，同时，可以降---备工艺难度和设备成本，获得成本---，品质更高且良率更高的多晶硅产品.
微波加热装置和微波加热设备，其中微波加热装置包括:微波源和环形器;其中，所述环形器包含端口，第二端口和第三端口;所述微波源的输出端连接环形器的端口，所述环形器的第二端口和第三端口分别连接微波谐振腔;所述微波源将发射的微波能量通过端口传输至环形器，环形器通过第三端口将微波谐振腔馈口反射的微波能量输入至微波谐振腔.上述微波加热装置，利用反射功率重新馈入微波谐振腔的方式获得加热能量，避免微波能量以反射功率的方式浪费，提高能量利用率，提升了微波加热效率.
微波加温基本原理的生物效用体制当微波功效于生物体时，在生物自动控制系统的功效和调整下，液体微波烧结设备多少钱一台，生物体必定要创建新的平衡状态以融入外部电磁感应自然环境标准的转变。因而，也就必定造成一些生物效用。微波的生物效用主要是由微波的热效应，次之是是非非热效应所造成的。1、微波加温基本原理的热效应微波对生物体的热效应就是指由微波造成的生物机构或系统软件遇热而对生物体造成的生理学危害。热效应主要是生物体内有极分子结构在微波高频率静电场的功效下不断迅速趋向旋转而摩擦生热；身体正离子在微波功效下震动也会将震动能量转换为---量；一般分子结构也会吸收微波能量后使热运动能量提升。假如生物体机构吸收的微波能量较少，它可依靠本身的热调整系统软件根据---循环将吸收的微波能量（---量）释放至全身上下或身体之外。假如微波输出功率很强，生物机构吸收的微波能量超过生物体能够释放的能量，则造成该位置体温升高。部分机构溫度上升将造成一系列生理需要，以使部分扩张，并根据热调整系统软件使---循环加快，机构---提高，白细胞计数介质提高，推动病理学物质的吸收和消退等。
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