一种低温多晶硅制备方法及微波加热设备.其中，该低温多晶硅的制备方法包括:提供一基板;在所述基板的一侧形成非晶硅层;进行微波加热，将所述非晶硅层晶化为多晶硅层;其中，在所述基板的一侧形成非晶硅层之前，和/或，在所述基板的一侧形成非晶硅层之后以及在进行微波加热将所述非晶硅层晶化为多晶硅层之前，还包括:形成晶化---膜.本发明实施例提供的低温多晶硅制备方法和微波加热设备，可以解决常规多晶硅退火工艺晶化均一性低，工艺难度大，忻州微波加热设备原理，产品良率低的问题，使多晶硅制备温度有效降低，液体微波加热设备原理，晶粒也均匀，同时，可以降---备工艺难度和设备成本，获得成本---，液体微波加热设备原理，品质更高且良率更高的多晶硅产品.
微波烧结是一种利用微波加热来对材料进行烧结的方法，它是一种快速制备高的新材料和使传统材料具有新的性能的重要技术手段。本文首先介绍了微波烧结的简单历史，基本原理和技术特点，多晶硅微波加热设备原理，然后重点针对其技术的关键因素，提出了基于数字控制的双频微波烧结炉的相应硬件结构及应用方面的分析和研究，并对微波烧结技术的前景做出了展望。
微波加热器选择要考虑的因素：１、加工食品的体积和厚度：选用915mhz可以获得较大的穿透厚度。２、一般加工食品的含水量及介质损耗：食品的含水量越大，介质损耗也越大；但微波的频率越高，介质的损耗也越大。综合考虑，一般对于含水量高的食品，宜选用915mhz的频率；对含水量低的食品，宜选用2450mhz的频率。３、大批量生产时，往往采用915mhz的频率：因为，915mhz的磁控管可获得30kw或60kw的功率，但2450mhz的频率，只能获得５kw的功率。而且，前者的工作效率比后者高10%-20%。４、设备体积：2450mhz的磁控管和波导均比915mhz的小，因此，前者的体积比后者小。综上所述，加热频率的选择，通过试验来确定。
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