工业微波加热新设备:微波加热是将由微波能量透射物体内部转为热量使物料升温。能够对物料整体加热,物料内外温差小,温度分布均匀,物料表面不易结硬壳;加热温升迅速,预热时间短,节能;加热物料无热惯性,物料加热温升状态,随意控制;电磁场的生物效应,对---、霉菌和虫卵有较强杀灭作用,设备包括微波源和供能波导,微波加热器,多晶硅微波定型设备温度,漏能抑制器,电源控制柜和安全连锁报警系统以及无级调速、输送带结构装置。自动化程度高,劳动操作强度低。
一种低温多晶硅制备方法及微波加热设备.其中,该低温多晶硅的制备方法包括:提供一基板;在所述基板的一侧形成非晶硅层;进行微波加热,将所述非晶硅层晶化为多晶硅层;其中,在所述基板的一侧形成非晶硅层之前,和/或,液体微波定型设备温度,在所述基板的一侧形成非晶硅层之后以及在进行微波加热将所述非晶硅层晶化为多晶硅层之前,还包括:形成晶化---膜.本发明实施例提供的低温多晶硅制备方法和微波加热设备,可以解决常规多晶硅退火工艺晶化均一性低,工艺难度大,产品良率低的问题,使多晶硅制备温度有效降低,晶粒也均匀,许昌微波定型设备温度,同时,可以降---备工艺难度和设备成本,获得成本---,品质更高且良率更高的多晶硅产品.
微波烧结是一种利用微波加热来对材料进行烧结的方法,它是一种快速制备高的新材料和使传统材料具有新的性能的重要技术手段。本文首先介绍了微波烧结的简单历史,基本原理和技术特点,多晶硅微波定型设备温度,然后重点针对其技术的关键因素,提出了基于数字控制的双频微波烧结炉的相应硬件结构及应用方面的分析和研究,并对微波烧结技术的前景做出了展望。
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